📘 光刻物镜设计
从理论到 Zemax 实现 · 30 章完整路径
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01
光刻技术概论
光刻机发展
物镜作用
课程路径
02
光学设计基础回顾
几何三大定律
近轴矩阵
赛德像差
03
光刻物镜核心指标
瑞利判据
焦深DOF
NA/视场/畸变
04
结构选型
折射/反射/折反
双高斯
微缩投影
05
初始结构计算
薄透镜理论
光焦度分配
专利初始
06
Zemax软件入门
界面介绍
波长/视场/孔径
LDE操作
07
Zemax评价函数
MFE详解
RMS/PTV
SPHA COMA
08
光刻物镜建模
双高斯结构
光阑/材料
厚度设置
09
光线追迹与分析
点列图
Ray Fan
OPD
10
波像差与MTF
波前图
MTF曲线
光刻要求
11
优化策略 (一)
局部优化
全局搜索
锤形优化
12
优化策略 (二)
权重设置
逐步优化
避免局部极小
13
像差校正实战·球差
非球面
双胶合
球差校正
14
彗差与像散校正
对称结构
光阑位置
彗差像散
15
场曲与畸变校正
匹兹万和
弯曲场镜
畸变控制
16
色差校正
消色差/复消色差
CaF₂熔石英
部分色散
17
非球面设计
偶次/Q-type
加工检测
光刻应用
18
公差分析 (一)
曲率/偏心
灵敏度
蒙特卡洛
19
公差分析 (二)
分配策略
补偿器
良率预测
20
热分析与无热化
温度影响
TCE dn/dt
无热化设计
21
偏振与镀膜影响
偏振效应
薄膜建模
透过率
22
照明系统匹配
柯勒/临界照明
光瞳匹配
部分相干
23
衍射与矢量效应
高NA矢量
FDTD/RCWA
电磁模拟
24
Zemax扩展功能
ZPL宏
DDE
Matlab/Python
25
设计案例 i-line
365nm
初始结构
优化完成
26
设计案例 KrF
248nm
DUV材料
色差校正
27
设计案例 ArF浸没式
193nm
浸没液体
高NA挑战
28
设计验证与文档
Zemax报告
ISO 10110
评审清单
29
前沿技术 EUV
13.5nm
反射式多层膜
热管理
30
课程总结与进阶
常见误区
书籍论文
职业建议