半导体制造中的良率概念、良率的重要性、良率管理的发展历程与趋势。
良率管理软件工具链的组成、各模块功能简介、数据流与工作流概览。
设备数据采集(SECS/GEM)、EDA数据导入、MES数据对接。
自动光学检测(AOI)数据解析、缺陷分类方法、缺陷密度图。
晶圆图(Wafer Map)可视化、空间聚类算法、热点区域识别。
CP测试数据解析、参数分布分析、参数与良率相关性。
服务器环境搭建、数据库配置、软件安装与许可证管理。
RESTful API设计、数据查询接口、数据写入接口。
SEMI标准合规、数据完整性审计、报告合规性检查。
AI驱动的良率管理、数字孪生、边缘计算在良率中的应用。