系统定义、应用领域(半导体、光伏、LED)、系统组成与分类。
常见特种气体(SiH₄、NH₃、PH₃、Cl₂)物理化学性质、毒性、易燃易爆性、SDS解读。
氮气、氧气、氩气、氢气等供应方式(液罐、管束车、现场制气)、纯化与分配。
钢瓶柜(Gas Cabinet)、气瓶架(Gas Rack)、VMB、VMP 结构与功能。
纯化器原理(催化、吸附、吸气剂)、选型、在线纯度监测(微量氧/水分析仪)。
管道材料(SS316L EP管、BA管)、连接方式(自动焊、VCR接头)、设计规范。
隔膜阀、波纹管阀、球阀、针型阀;调压器(单级/双级)原理与选型。
质量流量控制器(MFC)原理(热式/压差式)、校准、气体转换系数。
点式/开路式探测器、电化学/红外传感器、报警设定值(低报/高报)。
局部排风(LEV)、紧急排风、尾气处理(Scrubber)类型:燃烧式/湿式/干式。
气瓶标识、存储要求(气瓶间/室外)、更换流程(吹扫、置换、泄漏测试)。
氦气检漏、压力测试、露点测试、颗粒测试、N₂吹扫/循环吹扫。
PLC/DCS、SCADA、远程监控、联锁逻辑(ESD、F&G)。
设计流程(概念/基础/详细设计)、P&ID图绘制、物料清单(BOM)。
管道压降计算、管径选择、储罐容量、最大用气量计算。
防爆区域划分(ATEX/IECEx)、本质安全、泄压装置(安全阀、爆破片)。
施工准备、管道安装、支架安装、静电接地、验收标准。
调试流程(单机/联调)、验证文件(IQ/OQ/PQ)、性能确认。
日常巡检、预防性维护、备件管理、维护记录与SOP。
常见故障(压力波动、纯度下降、泄漏)、FTA、RCA。
12英寸晶圆厂气体供应、高纯分配网络、特气房布局。
PERC/TOPCon电池片气体供应、硅烷系统、磷烷/硼烷安全供应。
MOCVD设备气体供应、高纯氨气系统、MO源供应系统。
SEMI、GB、ISO、NFPA、CGA标准解读。
HAZOP、LOPA、SIL定级、风险评估报告编写。
智能气体供应、数字孪生、AI预测维护、模块化设计。
典型系统全生命周期回顾、设计缺陷改进、知识体系梳理。