光电探测器阵列集成与串扰抑制
📚 共计 30 章节
01
光电探测器基础
PN结原理、光电效应、响应度与量子效率
物理基础
核心概念
02
探测器阵列架构
一维线阵与二维面阵设计、像元尺寸与填充因子
拓扑设计
像元
03
阵列集成工艺
CMOS兼容工艺、倒装焊与硅通孔技术
工艺
3D集成
04
串扰机理分析
光学串扰（散射、衍射）、电学串扰（载流子扩散、电容耦合）
机理
光学
电学
05
光学串扰抑制
微透镜阵列、挡光层设计、深沟槽隔离
微透镜
隔离
06
电学串扰抑制
PN结隔离、深阱隔离、衬底偏置技术
隔离
偏置
07
读出电路集成
CTIA、SF、直接注入型读出电路设计
ROIC
电路
08
噪声分析
散粒噪声、热噪声、1/f噪声、复位噪声
噪声
信噪比
09
动态范围与线性度
电荷容量、非线性校正、双增益技术
线性度
HDR
10
阵列测试方法
暗电流测试、响应均匀性测试、串扰测试
测试
表征
11
串扰测试方案
点光源扫描、边缘响应法、MTF测量
MTF
点扩散
12
串扰建模与仿真
光学仿真（TracePro）、电学仿真（TCAD）
仿真
TCAD
13
阵列热管理
热电制冷、微通道散热、热串扰抑制
热
制冷
14
多光谱阵列集成
滤光片阵列、分光棱镜、光谱串扰
多光谱
滤光
15
时间延迟积分（TDI）技术
原理、实现方式、串扰影响
TDI
信噪比
16
数字域串扰校正
去卷积算法、邻域补偿、机器学习方法
算法
AI
17
单光子雪崩二极管（SPAD）阵列
盖革模式、淬灭电路、串扰
SPAD
单光子
18
硅光电倍增管（SiPM）
微元结构、动态范围、光学串扰
SiPM
微元
19
有机光电探测器阵列
材料特性、柔性集成、串扰挑战
有机
柔性
20
量子点光电探测器阵列
能带调控、溶液加工、串扰抑制
量子点
溶液
21
阵列封装技术
陶瓷封装、晶圆级封装、光学窗口设计
封装
光学窗口
22
阵列与微透镜集成
光刻胶回流法、灰度光刻法、纳米压印
微透镜
纳米压印
23
阵列与波导集成
片上波导、光栅耦合器、串扰分析
波导
耦合
24
阵列驱动电路
行选通、列读出、相关双采样
驱动
CDS
25
阵列校准技术
暗场校准、光场校准、非均匀性校正
校准
NUC
26
阵列可靠性
温度循环、湿度测试、寿命评估
可靠性
环境
27
阵列在激光雷达中的应用
飞行时间法、焦平面阵列、串扰抑制
LiDAR
ToF
28
阵列在光谱仪中的应用
微型光谱仪、傅里叶变换光谱、串扰
光谱
FTIR
29
阵列在医疗成像中的应用
X射线平板探测器、PET探测器、串扰
医疗
X射线
30
前沿趋势
3D堆叠、异质集成、智能像素、AI辅助串扰抑制
前沿
3D
AI