2、MPW 模式介绍:多项目晶圆(MPW)的概念、MPW 的优势与劣势、MPW 与全掩膜流片的对比

什么是多项目晶圆(MPW)?

多项目晶圆,英文叫 Multi-Project Wafer,简称 MPW。说白了,就是把多个不同客户的芯片设计,拼到同一张掩膜版上,然后一起流片。

我刚开始接触这个概念时,觉得挺神奇的。你想想看,一个芯片设计公司,可能只需要几十颗样品来验证功能。但晶圆厂一次流片,最少也得做 25 张晶圆起步。如果只做自己的设计,那成本高得吓人。

MPW 的运作模式是这样的:

  • 晶圆厂定期开放 MPW shuttle(班车),比如每个月一次
  • 客户提交自己的 GDSII 版图文件
  • 晶圆厂把所有客户的版图拼接到一张掩膜版上
  • 统一流片,然后按面积分摊成本

嗯,这里要注意。MPW 不是你想什么时候流就什么时候流。晶圆厂有固定的 schedule,错过了就得等下一班车。我在项目中就吃过这个亏,有一次为了赶一个 deadline,硬是多等了一个月。

MPW 的优势

我个人习惯把 MPW 的优势总结成三个字:省、快、稳。

省成本:这是最直接的好处。全掩膜流片一套 mask 要几十万到上百万美元。MPW 呢?你只需要付你占的那块面积的钱。比如你只用了 5mm x 5mm 的面积,可能几万块人民币就搞定了。

缩短验证周期:我记得有一次做硅光芯片,从设计到拿到样品,只用了 3 个月。如果是全掩膜流片,光 mask 制作就要 4-6 周。MPW 因为 mask 是共享的,制作周期短很多。

降低风险:你想想看,第一次流片就投全掩膜,万一设计有 bug,那几十万美金就打水漂了。MPW 相当于给你一个试错的机会。我见过太多团队,第一次 MPW 回来发现各种问题,改一版再去流片,反而比直接全掩膜更省钱。

MPW 的劣势

当然,MPW 也不是万能的。我踩过的坑也不少。

面积受限:MPW 通常有面积限制,比如最大 10mm x 10mm。如果你的芯片很大,那就只能拆成多个小块,或者干脆走全掩膜。

工艺参数不可控:晶圆厂为了照顾所有客户,MPW 的工艺参数通常是标准化的。你不能像全掩膜那样,针对自己的设计做工艺优化。比如你想调整某个层的掺杂浓度,MPW 基本没门。

交付周期固定:我刚才说了,MPW 有固定的 shuttle 时间。如果你错过了,就得等下一班。全掩膜流片呢?你随时可以启动,只要钱到位。

样品数量少:MPW 通常只给你几颗到几十颗样品。如果你需要做大量的测试,或者要送样给客户,那可能不够用。

MPW 与全掩膜流片的对比

我经常被问到:到底选 MPW 还是全掩膜?其实没有标准答案,得看你的具体情况。

对比项 MPW 全掩膜流片
成本 低,按面积分摊 高,几十万到上百万美元
周期 较短,3-4 个月 较长,4-6 个月
面积 受限,通常 10mm x 10mm 以内 无限制,可做任意尺寸
工艺灵活性 标准化工艺,不可定制 可定制工艺参数
样品数量 少,几颗到几十颗 多,几十到几百颗
风险 低,适合验证 高,一次投入大
适用场景 原型验证、学术研究 量产、大尺寸芯片

我曾经有一个项目,做的是硅光收发芯片。第一次流片,我果断选了 MPW。为什么?因为设计中有很多不确定的地方,比如光波导的损耗、调制器的效率,这些都需要实际流片回来才能验证。结果 MPW 回来,果然发现几个问题。改了一版,第二次 MPW 就基本没问题了。第三次,我才敢投全掩膜。

你想想看,如果第一次就投全掩膜,那几十万美金可能就白花了。所以我的建议是:先用 MPW 验证,再考虑全掩膜

MPW 的典型流程

嗯,这里我画了一张流程图,帮你理清 MPW 的整个流程。

MPW 流片流程 1. 设计完成 2. 提交 GDSII 3. 版图合并 4. 制作掩膜 5. 晶圆流片 6. 晶圆测试 7. 切割分片 8. 交付样品 发现问题?修改设计,等待下一班 MPW shuttle 第 1-2 周 第 3 周 第 4-6 周 第 7-8 周 第 9-12 周 第 13 周 第 14 周 第 15-16 周

从流程图你可以看到,MPW 的整个周期大概在 3-4 个月。其中版图合并这一步,晶圆厂会做 DRC 和 LVS 检查。如果发现你的版图有问题,会通知你修改。我曾经有一次,版图合并时发现我的光波导层和别人的有冲突,硬是改了两天才搞定。

避坑指南

我曾经犯过的错:

  • 第一次做 MPW,没注意晶圆厂的 shuttle 时间表,错过了提交截止日期,多等了一个月
  • 有一次提交的 GDSII 文件格式不对,晶圆厂打不开,紧急联系才解决
  • 还有一次,没做充分的 DRC 检查,结果流片回来发现金属密度不达标,芯片直接报废

所以我的建议是:

  • 提前 2 周确认晶圆厂的 shuttle 时间表
  • 提交前自己做一遍完整的 DRC/LVS 检查
  • 留出 1-2 天的 buffer,以防文件有问题需要修改
  • 和晶圆厂的接口人保持沟通,确认版图合并没有问题

嗯,关于 MPW 模式,我就讲这么多。说白了,MPW 是硅光芯片设计入门的必经之路。它让你用最小的成本,快速验证你的设计。等你有了足够的经验,再考虑全掩膜流片也不迟。


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